전자 산업 클린룸 내 공기 중 분자 오염(AMC) 모니터링
측정 원리 | 불꽃 이온화 검출기(FID) | |
어플리케이션 | 대기 중 THC 측정 | |
측정 범위 | • 표준 : 0-5/ 10/ 25/ 50 ppm 수동, 자동 또는 외부에서 제어 가능 • 최대 측정 범위 비율 = 1:10 | |
검출 한계 | 0.022 ppm (3δ) | |
반복성 | 전체 범위의 ±1.0 % | |
직선성 | 전체 범위의 ±1.0 % | |
유량 | 약 0.5 l/분 | |
응답 시간 (T90) | < 60 초 (최저 범위) | |
Display | 농도(ppm(ppb) 또는 mg(µg)/m3) | |
보상 | 압력과 온도 | |
언어 | 독일어, 영어, 프랑스어, 일본어 | |
인터페이스 | RS-232C (Gesytec/ HORIBA 프로토콜) | |
옵션 | • 이더넷 인터페이스 • 아날로그 출력 0-1/10 V 또는 0(4) - 20 mA • 장기 데이터 저장 • 교정 장치 • 추가 옵션은 요청 시 제공 | |
주변 온도 | 0~40 °C | |
전원 공급 | 240 VAC, 50 Hz, 약 170 VA | |
치수 | 430(폭) x 550(깊이) x 221(높이) mm (5HE) | |
무게 | 약 33 kg |
